《Journal Of Vacuum Science & Technology A》|国际期刊-源配信息

期刊简介

《Journal Of Vacuum Science & Technology A》重点专注发布材料科学：膜-工程技术领域的新研究，旨在促进和传播该领域相关的新技术和新知识。鼓励该领域研究者详细地发表他们的高质量实验研究和理论结果。该杂志创刊至今，在材料科学：膜-工程技术领域，有较高影响力，对来稿文章质量要求较高，稿件投稿过审难度较大。欢迎广大同领域研究者投稿该杂志。

近年评价数据趋势图

CiteScore指数统计

CiteScore指标的应用非常广泛，以期刊的引用次数为基础评估期刊的影响力。它可以反映期刊的学术影响力和学术水平，是学术界常用的期刊评价指标之一。

CiteScore	SJR	SNIP	CiteScore排名
5.1	0.569	0.957	学科类别	分区	排名	百分位
			大类：PhysicsandAstronomy 小类：CondensedMatterPhysics	Q2	135/434	69% 69% Complete
			大类：PhysicsandAstronomy 小类：SurfacesandInterfaces	Q2	19/57	67% 67% Complete
			大类：PhysicsandAstronomy 小类：Surfaces,CoatingsandFilms	Q2	45/132	66% 66% Complete

CiteScore是由Elsevier公司开发的一种用于衡量科学期刊影响力的指标，以期刊的引用次数为基础评估期刊的影响力。这个指标是由Scopus数据库支持，以四年为一个时段，连续评估期刊和丛书的引文影响力的。具体来说，CiteScore是计算某期刊连续三年发表的论文在第四年度的篇均引用次数。CiteScore和影响因子（IF）有所不同。例如，在影响因子的计算中，分子是来自所有文章的引用次数，包括编辑述评、读者来信、更正信息和新闻等非研究性文章，而分母则不包括这些非研究性文章。然而，在CiteScore的计算中，分子和分母都包括这些非研究性文章。因此，如果这些非研究性文章比较多，由于分母较大，相较于影响因子，CiteScore计算出来的分数可能会偏低。此外，CiteScore的引用数据来自Scopus数据库中的22000多个期刊，比影响因子来自Web of Science数据库的11000多个期刊多了一倍。

WOS(JCR)分区

按JIF指标学科分区	收录子集	分区	排名	百分位
学科：MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS	SCIE	Q3	13 / 23	45.7% 45.7% Complete
学科：PHYSICS, APPLIED	SCIE	Q3	96 / 179	46.6% 46.6% Complete

按JCI指标学科分区	收录子集	分区	排名	百分位
学科：MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS	SCIE	Q3	12 / 23	50% 50% Complete
学科：PHYSICS, APPLIED	SCIE	Q2	88 / 179	51.12% 51.12% Complete

WOS(JCR)分区是由科睿唯安公司提出的一种新的期刊评价指标，分区越靠前一般代表期刊质量越好，发文难度也越高。这种分级体系有助于科研人员快速了解各个期刊的影响力和地位。JCR将所有期刊按照各个学科领域进行分类，然后以影响因子为标准平均分为四个等级：Q1、Q2、Q3和Q4区。这种设计使得科研人员可以更容易地进行跨学科比较。

中科院SCI期刊分区

中科院SCI期刊分区是由中国科学院国家科学图书馆制定的。将所有的期刊按照学科进行分类，以影响因子为标准平均分为四个等级。分区越靠前一般代表期刊质量越好，发文难度也越高。

2023年12月升级版

Top期刊	综述期刊	大类学科	小类学科
否	否	材料科学 3区	MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS 材料科学：膜 3区

2022年12月升级版

Top期刊	综述期刊	大类学科	小类学科
否	否	材料科学 2区	MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS 材料科学：膜 3区

2021年12月旧的升级版

Top期刊	综述期刊	大类学科	小类学科
否	否	材料科学 3区	MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS 材料科学：膜 3区

2021年12月基础版

Top期刊	综述期刊	大类学科	小类学科
否	否	工程技术 4区	MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS 材料科学：膜 4区

2021年12月升级版

Top期刊	综述期刊	大类学科	小类学科
否	否	材料科学 3区	MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS 材料科学：膜 3区

2020年12月旧的升级版

Top期刊	综述期刊	大类学科	小类学科
否	否	材料科学 2区	MATERIALS SCIENCE, COATINGS & FILMS 材料科学：膜 2区

发文统计

文章名称

引用次数

Review Article: Stress in thin films and coatings: Current status, challenges, and prospects

Status and prospects of plasma-assisted atomic layer deposition

Practical guides for x-ray photoelectron spectroscopy: First steps in planning, conducting, and reporting XPS measurements

Functional model for analysis of ALD nucleation and quantification of area-selective deposition

Review Article: Catalysts design and synthesis via selective atomic layer deposition

Paradigm shift in thin-film growth by magnetron sputtering: From gas-ion to metal-ion irradiation of the growing film

Review Article: Atomic layer deposition for oxide semiconductor thin film transistors: Advances in research and development

Atomic layer deposition of silicon-based dielectrics for semiconductor manufacturing: Current status and future outlook

Review Article: Crystal alignment for high performance organic electronics devices

Vapor-deposited octadecanethiol masking layer on copper to enable area selective Hf3N4 atomic layer deposition on dielectrics studied by in situ spectroscopic ellipsometry

国家/地区

发文量

USA

368

Japan

GERMANY (FED REP GER)

South Korea

France

Sweden

CHINA MAINLAND

England

Finland

Netherlands